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臺階儀

簡要描述:臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新日期:2024-11-28
  • 訪  問  量:1148

詳細(xì)介紹

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

臺階儀參數(shù)

項(xiàng) 目 簡 述

參數(shù)說明

1.共焦

  • 可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。

  • 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150) 全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (大斜率<干涉測量>: 72° vs 44°) 。

  • 具有光學(xué)形貌上高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機(jī), 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的理想配置。

  • 在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制

  • 應(yīng)用于透明層/薄膜。

  • 兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。

  • 長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

  • 穩(wěn)定性。

2.干涉儀(WLI)

  • Z向高分辨率

  • 兼具相移(PSI)以及垂直掃描(VSI)模式

  • Z向分辨率可獨(dú)立放大

  • 四色CCD 相機(jī),用戶可自選的LED光源 (白光綠光、藍(lán)光和紅光)

  • 高達(dá)五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機(jī)

  • 快速處理器

  • 自動對焦

3.原子力顯微鏡

  • 探針掃描可用于大型模板

  • X、YZ三向可達(dá)原子級分辨率

  • 大壓電探針掃描XY: 達(dá)到 110x110um

4.變焦

  • 粗糙表面分析

  • 快速分析

  • 一臺設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀 高精度原子力顯微鏡















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